1995年 Fujikin®Carp®Group突破传统燃烧式水蒸气发生器范畴，利用触媒反应，成功地开发出高纯度水蒸气发生器。

经由不断耐用性等相关测试，取得各种数据，并经过不断地改良，终于成功地研发出目前所使用的水蒸气发生器（WVG）。

和燃烧式水蒸气发生器相比，WVG由于可在低温状态下产生水蒸气，故除具备安全性外，还可实现无沾染目标。

其次，流量、控制范围宽广的优点，受到目前各种制程的采用。